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外媒:華為提出了適用于3D-DRAM的CAA晶體管

2022-05-31 來源:網絡整理
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關鍵詞: 華為 晶體管

圖源:網絡


消息,中國通信設備巨頭華為提出了一種適用于3D-DRAM構建的垂直通道全能(channel-all-around,CAA)晶體管。


據eeNews報道,該提案被包含在一篇論文中,將在2022年IEEE超大規模集成電路技術和電路研討會上提交,該研討會定于6月12日至17日在夏威夷檀香山舉行。


該器件是一種銦鎵氧化鋅(IGZO)場效應晶體管(FET),其IGZO、高k電介質氧化鉿和IZO層圍繞一個垂直柱排列。IGZO厚度約為3nm。HfOx和IZO的厚度約為8nm。垂直方向的通道長度為55nm,平面內的臨界尺寸為50nm。


該晶體管在Vth+1V時達到32.8microamps/micron的電流密度,亞閾值擺幅為92mV/decade。


作者聲稱,在-40攝氏度到+120攝氏度之間,該晶體管具有良好的熱穩定性和可靠性,有望成為未來超越1-alpha節點的高性能3D-DRAM的候選產品。



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