中商情報(bào)網(wǎng)訊：涂膠顯影設(shè)備是光刻工序中與光刻機(jī)配套使用的涂膠、烘烤及顯影設(shè)備，包括涂膠機(jī)、噴膠機(jī)和顯影機(jī)。根據(jù)使用方式不同可分為單獨(dú)使用（Off Line）和聯(lián)機(jī)作業(yè)（In Line）。

市場規(guī)模

涂膠/顯影機(jī)作為光刻機(jī)的輸入（曝光前光刻膠涂覆）和輸出（曝光后圖形的顯影）設(shè)備，主要通過機(jī)械手使晶圓在各系統(tǒng)之間傳輸和處理，從而完成晶圓的光刻膠涂覆、固化、顯影、堅(jiān)膜等工藝過程，是集成電路制造過程中不可或缺的關(guān)鍵處理設(shè)備。中國大區(qū)（含中國臺灣地區(qū)）前道涂膠顯影設(shè)備市場規(guī)模預(yù)計(jì)由 2016 年的 8.57 億美元增長至2023 年的10.26 億美元，年均復(fù)合增長率有望達(dá) 7.78%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

競爭格局

TEL 在中國大陸的市占率高達(dá)91%，其次為 Screen（迪恩士），占比接近 5%，中國芯源微涂膠顯影設(shè)備國產(chǎn)化率僅為4%。

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