2022年全球CVD設備市場規模及結構預測分析（圖）
2022-10-31
來源：中商產業研究院
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關鍵詞： CVD設備
中商情報網訊：CVD（化學氣相沉積），指把含有構成薄膜元素的氣態反應劑或液態反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入反應室，在襯底表面發生化學反應生成薄膜的過程。在大規模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。經過CVD處理后，表面處理膜密著性約提高30%，防止高強力鋼的彎曲，拉伸等成形時產生的刮痕。
市場規模
2019年受下游需求下降整體半導體景氣度下降影響，CVD設備需求出現較大幅度下滑，2020年以來5G帶動智能手機需求回暖，整體半導體設備產業需求回升，2020年CVD設備規模達85億美元。隨著汽車電子和物聯網整體持續發展，半導體需求持續提升，預計2022年市場規模將達到96億美元。
數據來源：中商產業研究院整理
市場結構
目前PECVD占比最多，達46.9%，PECVD設備在相對較低的反應溫度下形成高致密度、高性能薄膜，不破壞已有薄膜和已形成的底層電路，實現更快的薄膜沉積速度；ALD也隨著先進制程需求持續增長占比有所提升，目前達17.7%左右。其次分別為LPCVD、APCVD、MOCVD，占比分別為15.6%、14.6%、5.2%。
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