中商情報網訊：半導體設備行業中，前道量檢測設備主要運用光學技術、電子束技術等測量晶圓的薄膜厚度、關鍵尺寸等。前道量檢測設備作為半導體設備市場的重要組成，其市場規模在半導體設備中僅次于薄膜沉積設備、光刻機、刻蝕設備。據SEMI數據統計，前道量檢測設備約占半導體設備市場規模的13%。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

得益于半導體行業的繁榮發展，我國前道量檢測市場規模快速增長，由2016年的7.0億美元增長至2020年的21.0億美元，年復合增長率達到31.61%，遠超全球平均水平，占全球市場規模的比例由2016年的14.71%增長至2020年的27.45%，已成為全球最大的前道量檢測市場。

數據來源：VLSI Research、中商產業研究院整理