近日國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈再獲突破，上海傳芯半導(dǎo)體公開了用于EUV光刻機(jī)的曝光成像結(jié)構(gòu)、反射式光掩模版組及投影式光刻機(jī)專利，這對(duì)于國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈來(lái)說(shuō)是又一個(gè)關(guān)鍵的技術(shù)突破。

光刻機(jī)的生產(chǎn)之所以困難，在于它集中了全球科技行業(yè)的精華，需要德國(guó)、美國(guó)、日本等諸多國(guó)家的配套企業(yè)提供相關(guān)的組件，最終由荷蘭的ASML將之整合成為一臺(tái)光刻機(jī)，正是這種高度的配合才能生產(chǎn)出全球最先進(jìn)的光刻機(jī)。

中國(guó)近幾年一直在努力實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的自主化，其中上海微電子在光刻機(jī)方面的進(jìn)展較快，不過(guò)僅靠上海微電子是無(wú)法生產(chǎn)出先進(jìn)的光刻機(jī)的，需要國(guó)內(nèi)諸多產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)共同合作才能最終將之變成現(xiàn)實(shí)。

此前清華大學(xué)機(jī)械工程系朱煜教授帶隊(duì)的清華大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)就已研發(fā)出光刻機(jī)雙工作臺(tái)，由此中國(guó)成為全球第二個(gè)可以生產(chǎn)雙工作臺(tái)的國(guó)家；此外激光頭、鏡頭等廠商也陸續(xù)生產(chǎn)出先進(jìn)的組件，再到如今上海傳芯半導(dǎo)體的突破，可以說(shuō)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的產(chǎn)業(yè)鏈正在加速完善。

中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈得以迅速完善，在于這20多年打下的制造業(yè)基礎(chǔ)，這些基礎(chǔ)讓這些組件的研發(fā)和量產(chǎn)迅速推進(jìn)，逐步完善，如此可以預(yù)期再過(guò)數(shù)年國(guó)產(chǎn)的先進(jìn)光刻機(jī)終將會(huì)變成現(xiàn)實(shí)。

光刻機(jī)巨頭ASML曾經(jīng)表示即使給中國(guó)企業(yè)圖紙，中國(guó)企業(yè)也無(wú)法生產(chǎn)出先進(jìn)的光刻機(jī)，原因就在于光刻機(jī)的諸多組件都由非中國(guó)大陸的企業(yè)生產(chǎn)，然而如今中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈在快速推進(jìn)，顯然出乎了它的意料。

其實(shí)這也是ASML的自大吧，20多年前日本的光刻機(jī)可也是領(lǐng)先于ASML的，占有的市場(chǎng)份額與ASML相差不大，后來(lái)先進(jìn)的光刻機(jī)成本越來(lái)越昂貴，于是ASML與光刻機(jī)客戶臺(tái)積電、三星、Intel等結(jié)成聯(lián)盟并由這些客戶入股，在利益捆綁之下，這些芯片制造企業(yè)都優(yōu)先采用ASML的光刻機(jī)，才造成了如今ASML的一家獨(dú)大。

這就說(shuō)明光刻機(jī)的技術(shù)其實(shí)并非由ASML所獨(dú)有，只不過(guò)ASML通過(guò)客戶捆綁的方式擊敗了日本的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)，最終才變成了ASML的一家獨(dú)大，然而如今日本也有意繞開ASML的光刻機(jī)，日本的鎧俠存儲(chǔ)就與日本企業(yè)研發(fā)了先機(jī)的NIL工藝，已在芯片制造行業(yè)走出了一條新路。

中國(guó)如今也是兩條腿走路，一方面繼續(xù)打通光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈，另一方面則是研發(fā)無(wú)需光刻機(jī)的芯片制造工藝，中國(guó)能如此做，在于中國(guó)龐大的市場(chǎng)，以及龐大的制造業(yè)基礎(chǔ)，無(wú)論那一條路打通，中國(guó)的芯片制造產(chǎn)業(yè)都能支撐起一條芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈。

今年一季度ASML加緊對(duì)中國(guó)出貨光刻機(jī)，可能也正是預(yù)感到中國(guó)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈已取得新的突破，希望趕在中國(guó)量產(chǎn)自己的芯片制造設(shè)備之前再賺一筆，乃至以此壓制中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，畢竟中國(guó)的成本優(yōu)勢(shì)太強(qiáng)了，就如中國(guó)已量產(chǎn)的芯片價(jià)格低至美國(guó)芯片的四分之一，只要中國(guó)量產(chǎn)的芯片，歐美芯片企業(yè)都只能大舉降價(jià)拋售，近期歐美的芯片都傳出降價(jià)九成的消息就印證了這一點(diǎn)。