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9月1日起,浸潤式光刻機受限?ASML:今年內中國客戶隨便買

2023-09-05 來源:互聯網亂侃秀
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關鍵詞: 半導體 光刻機 中芯國際

眾所周知,荷蘭之前公布了一個半導體設備的禁令,表示NXT:2000i光刻機,以及更先進的光刻機,是不能賣給中國的,除非拿到許可證。而這個禁令將于9月1日執行。


所以從9月1日起,很多人就表示,接下來國內的晶圓廠可能有點難受了,因為只能買到NXT:1980Di這一款浸潤式光刻機了,比它更先進的都不能買,包括EUV。



不過針對這一情況,ASML直接進行了否認,表示2023年內,所有的DUV光刻機,包括NXT:2000i以及更先進的NXT:2050i、NXT:2100i,都能夠賣給中國。


而為什么ASML能夠無視禁令呢?ASML表示,之前ASML就向荷蘭政府申請了許可證,而這個許可證的有效期是覆蓋2023年內的,但是從2024年1月1日開始,就失效了,到時候ASML就不能將NXT:2000i及更先進的光刻機賣給中國了。



那么這對中國的晶圓廠,有多少影響么?


說真的,其實影響不大,目前ASML在售的四款浸潤式光刻機,分別是NXT:1980Di、NXT:2000i、NXT:2050i、NXT:2100i,數字型號越大機器越先進。


但從參數來看,不管是NXT:2000i,還是NXT:1980Di,或者更高級的NXT:2050i、NXT:2100i,他們的分辨率都是38nm,數據值孔徑都是1.35NA,波長都是193nm,經過水的折射后,等效于134nm。


所以理論上,大家能夠制造的芯片工藝是一致的,只是晶圓處理速度不一樣,這個影響的是產能,但工藝影響不大。


同時浸潤式光刻機,最高是能夠制造7nm工藝的芯片,不管是相對落后一點的NXT:1980Di,還是最先進的NXT:2100i,最高也都只是達到7nm,也都能達到7nm工藝。


所以中國晶圓廠,不管怎么買,都可以最高實現7nm,同時也無法進入5nm的,因為5nm是需要EUV工藝,這是繞不開的。



更重要的是,既然還有這么多時間,ASML說可以銷售,那么國內有需求的廠商也會想辦法囤一些最先進的DUV光刻機,以保證接下來一段時間之內的使用。


所以對于這個禁令,大家真的不必太過于擔心,除非說所有浸潤式都不能銷售,只能賣Dry,也就是干式光刻機,那樣影響就真的大了。



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