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中國最先進的芯片設備:刻蝕機技術,已達3nm,試驗2nm

2024-01-29 來源:科技專家
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關鍵詞: 半導體設備 芯片 光刻機

芯片的原材料是沙子,但把沙子變成芯片,要經過幾千道工序,這中間還需要幾百種材料,幾百種設備,流程非常復雜,技術要求也非常高,供應鏈復雜度堪稱全球第一。


復雜一點,其實也沒什么,但問題是美國聯手日本、荷蘭,在半導體設備上卡我們脖子,不出口一些先進的芯片設備給我們,搞得我們在一些關鍵設備上,全部要突破,要自研才行。


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所以這幾年,各種芯片設備傳出了不斷突破,替代國外產品的消息,那么問題來了,目前所有的國產半導體設備中,哪一種設備支持的芯片工藝最先進?能不能達到全球頂尖水平?


事實上,國產的半導體設備中,還真有這么一種設備,達到了全球頂尖水平,連臺積電這樣的企業,都從中國企業這里采購。


這種設備就是刻蝕機,和光刻機相比,名字相似,但干的事情卻截然不同,但又必不可少。


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光刻機是將芯片電路圖,通過光線投影到硅晶圓上。而刻蝕機,則是將硅晶圓上沒有投影的部分,蝕刻掉,只保留有投影的部分,形成電路圖。光刻機和刻蝕機,是相對應的。


國內能夠生產光刻機的廠商,其實并不少,但比較出名的主要是中微半導體,由中國刻蝕機第一人尹志堯博士創辦。


在創立中微半導體之前,尹志堯博士曾在英特爾、泛林、應用材料等企業均工作過,個人在半導體行業擁有86項美國專利和200多項各國專利,被譽為“硅谷最有成就的華人之一”。


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他于2004年,帶著錢,以及一幫半導體領域的精英,回到上海創辦企業,立志要要打破國外的壟斷。


創辦公司僅3年后的2007年,就推出了第一代國產刻蝕機,還采用了雙工作臺,比國外競品效率還要高。


美國泛林集團坐不住了,一方面是在2009年起訴中微的蝕刻機侵害它的權利,另外一方面則是想辦法偷學中微的技術。


后來中微沒慣著它,起訴泛林侵犯中微商業秘密,雙方你來我往,官司一打就是10多年,最后中微徹底勝訴,泛林侵犯中微商業秘密成立。


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而在打官司的過程中,中微的研發可一直在繼續,刻蝕機也是不斷進步,從28nm到10nm,再到5nm、3nm。


目前中微的刻蝕機,早就實現了3nm工藝,并且被臺積電應用于實際3nm芯片生產之中,中微還表示,目前正在和客戶一起試驗2nm工藝的刻蝕機,后續也會用于下一代晶圓制造之中。


不過,正如前面所言,芯片制造,需要幾百種設備,并且是遵循木桶理論,實際水平取決于最短的那一塊短板,所以其它國產設備也加油吧,如果和國產刻蝕機一樣,達到3nm,那還怕什么禁令?



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