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ASML的“末日狂歡”:EUV光刻機,難有下一代,未來沒了

2024-02-22 來源:科技專家
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關鍵詞: ASML 芯片

2023年,是ASML狂歡的一年,這一年賣出了276億歐元的光刻機,同比增長30%,而凈利潤為78億歐元,同比增長43%,毛利率高達51.3%。


2023年這一年,ASML賣出了53臺EUV光刻機,125臺浸潤式DUV光刻機,32臺普通干式DUV光刻機,184臺KrF光刻機,55臺L-line光刻機,所有類型的光刻機,都比2022年銷量多。


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而對于2024年,ASML不樂觀表示預計和2023年差不多。


事實上,2024年,理應是ASML大量發展的一年,為何預計卻不會再有什么增長呢?原因在于ASML的EUV光刻機,已經發展到極限,難有下一代了,前路已經被堵了。


目前ASML最大的營收來源,其實是靠EUV光刻機,2023年為例,53臺EUV光刻機,每臺1.8億美元左右,這里就貢獻了近100億美元,三分之一啊。


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現在主要銷售的EUV光刻機,是NA=0.33的光刻機,NA也稱之為數值孔徑,也稱之為Low-NA系統,因為0.33是低數值孔徑。


這種光刻機,能實現26nm的最小金屬間距和25-30nm尖端到尖端的近似互連空間間距,比較理想的,是實現3nm的芯片制造。


而NA=0.55的光刻機,數值孔徑變大了,稱之為Higt-Na系統,可以實現16nm的最小金屬間距,可實現2nm以下制程節點,甚至達到1nm。


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不過這種NA=0.55的光刻機,成本高昂,達到了3.8億美元去了,相比上一代貴了一倍,同時ASML表示,目前產能還很差,一年也就只能生產不到10個出來,所以ASML并不是特別看好它,畢竟目前的0.33NA的光刻機,也能生產2nm芯片。


而制造3nm的芯片廠,才2家,大家原有的EUV光刻機不會淘汰掉,現在NA=0.55的光刻機,肯定銷量不會特別好,所以對2024年并不是很樂觀,覺得能夠維持住2023年的營收,就不錯了。


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事實上,對ASML而言,更大的麻煩,還在后頭,因為當NA提升至0.55后,數值孔徑,可能就達到極限,無法再提升了。


至于其它提高EUV光刻機分辨率的方向,比如降低光源波長,提高光刻工藝因子等,基本上都達到了極限,短時間之內無法提升了。


所以在去年,主管技術的ASML的聯席CEO表示,接下來ASML的EUV光刻機,很難再有進步了,NA=0.55的這種EUV光刻機,或許是最后一代,他于2024年也要退休了。


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那么,一旦EUV光刻機,無法再更新換代,ASML就陷入了“末日狂歡”之中了,也許眼前還能大賣,但未來呢?


當然,也有人覺得,或許EUV光刻機還能夠前進,只是目前還沒看到方向而已,但這種看不到方向,是企業的最大不確定性,沒有確定性就沒有未來,企業怎么辦呢?



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