5月27日消息，據(jù)報(bào)道，由于 KrF 光刻膠產(chǎn)能受限以及全球晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)等，占據(jù)全球光刻膠市場(chǎng)份額超兩成的日本供應(yīng)商信越化學(xué)已經(jīng)向中國(guó)大陸多家一線晶圓廠限制供貨 KrF 光刻膠，且已通知更小規(guī)模晶圓廠停止供貨 KrF 光刻膠。

業(yè)內(nèi)人士表示，未來(lái)國(guó)內(nèi)多家晶圓廠或?qū)⒚媾R KrF 光刻膠大缺貨的處境，彤程新材作為目前國(guó)內(nèi)唯一一家能夠供應(yīng) KrF 光刻膠的廠商，大陸多家晶圓廠正在加速驗(yàn)證導(dǎo)入其子公司北京科華的 KrF 光刻膠。

資料顯示，北京科華成產(chǎn)品覆蓋 KrF ( 248nm ) 、l-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑，是中芯國(guó)際、華潤(rùn)上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電等行業(yè)頂尖客戶的穩(wěn)定合作伙伴。

信越化學(xué)之所以停止供貨部分晶圓廠 KrF 光刻膠，與 2 月份日本福島東部海域發(fā)生 7.3 級(jí)地震有莫大關(guān)聯(lián)。地震導(dǎo)致信越化學(xué) KrF 光刻膠產(chǎn)線受到很大程度的破壞，至今尚未完全恢復(fù)生產(chǎn)。

上述業(yè)內(nèi)人士還表示，國(guó)內(nèi)晶圓廠面臨 KrF 光刻膠大缺貨，除了信越化學(xué) KrF 光刻膠產(chǎn)線供應(yīng)出問(wèn)題外，更大的原因在于，在日本福島地震之前，KrF 光刻膠的產(chǎn)能供應(yīng)就較為緊張。

晶圓代工產(chǎn)能不斷擴(kuò)張 光刻膠國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)

光刻膠是半導(dǎo)體光刻工藝的關(guān)鍵材料，按照曝光波長(zhǎng)可分為 g 線、i 線、KrF、ArF 和 EUV 光刻膠，后三者為高端光刻膠產(chǎn)品。

目前，全球半導(dǎo)體光刻膠被日本 JSR、TOK、住友化學(xué)、信越化學(xué)，以及美國(guó)陶氏化學(xué)所主導(dǎo)。我國(guó)適用于 6 英寸硅片的 g 線和 i 線光刻膠自給率約為 20%，適用于 8 英寸硅片的 KrF 光刻膠自給率不足 5%，適用于 12 寸硅片的 ArF 光刻膠則完全依靠進(jìn)口。

這一背景下，供應(yīng)鏈安全重要性不言而喻。

另一方面，由于全球晶圓代工產(chǎn)能不足，產(chǎn)能擴(kuò)充一直在進(jìn)行中，今年以來(lái)，除了臺(tái)積電、三星、英特爾、聯(lián)電等晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)外，中芯國(guó)際、華虹宏力、廣州粵芯等本土晶圓廠也積極擴(kuò)產(chǎn)和釋放產(chǎn)能。

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)能快速擴(kuò)展和供應(yīng)鏈自主可控的需求也為光刻膠行業(yè)帶來(lái)了發(fā)展機(jī)遇，2020 年行業(yè)龍頭晶瑞股份光刻膠業(yè)務(wù)營(yíng)收增長(zhǎng) 16.98%，增速遠(yuǎn)超往年，為 2018 年以來(lái)最高，顯示行業(yè)景氣度較高。

根據(jù)智研咨詢預(yù)測(cè)，2022 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)空間將會(huì)接近 55 億元，是 2019 年的兩倍。

光刻膠供應(yīng)不足的情況仍將持續(xù)一段時(shí)間。據(jù)央視財(cái)經(jīng) 3 月 22 日?qǐng)?bào)道，國(guó)內(nèi)光刻膠供應(yīng)極為短缺，以往企業(yè)每次采購(gòu)的光刻膠量約在 100kg，近期由于原材料短缺，每期只能采購(gòu)到 10kg-20kg。

而在半導(dǎo)體供應(yīng)鏈安全逐漸得到重視的背景下，一方面我國(guó)出臺(tái)了多項(xiàng)相關(guān)政策，為光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了良好的政策支持，另一方面國(guó)家集成電路大基金二期布局規(guī)劃明確支持包括光刻膠在內(nèi)的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈，國(guó)產(chǎn)光刻膠研發(fā)和量產(chǎn)或?qū)⑻崴伲瑖?guó)內(nèi)廠商紛紛計(jì)劃在被日美壟斷的半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域擴(kuò)大投入，并在高端光刻膠領(lǐng)域研發(fā)和量產(chǎn)持續(xù)突破。

A 股上市公司中，彤程新材走在前列，其 ArF 光刻膠已經(jīng)量產(chǎn)，KrF 光刻膠尚在研發(fā)過(guò)程中；上海新陽(yáng)主攻 KrF 和干法 ArF 光刻膠，目前已進(jìn)入產(chǎn)能建設(shè)階段；南大光電子公司寧波南大光電自主研發(fā)的 ArF 光刻膠已通過(guò)客戶認(rèn)證；晶瑞股份的 KrF 光刻膠已經(jīng)完成中試，正進(jìn)入客戶測(cè)試階段，ArF 光刻膠尚在研發(fā)過(guò)程中。