根據中央氣象局資料顯示，臺北時間 3/23 清晨 1:41 花蓮發生芮氏規模 6.6 級有感地震，各地震度為臺東 6 級、花連 5 級、南投 4 級、嘉義 4 級、高雄 4 級、云林 4 級、臺中 4 級、宜蘭 4 級、臺南 4 級、彰化 4 級、苗栗 4 級、新竹 4 級、屏東 3 級、桃園 3 級、臺北 3 級、澎湖 2 級、馬組 1 級。而根據臺南科學園區管理局的資料顯示，臺南因為震度達到 4 級的關系，雖然有部分廠商機臺出現當機狀況，但沒有人員疏散動作，而其他科學區情況也陸續調查更新中。

臺南科學園區管理局指出，3/23 清晨 01:41發生有感地震，震央位在花蓮縣政府南方 62.6 公里，地震深度30.6公里，芮氏規模達到 6.6。根據地震儀測值，臺南 26.80Gal (4級)、高雄 16.69Gal (3級)。而廠商地震儀測值，臺南群創 B 廠 33.60Gal (4級)，臺積 18 廠 33.90Gal (4級)，彩晶 61.00Gal (4級)。

而在地震發生之后，各園區廠商調查后回報狀況，群創 B 廠:無人員疏散、部分機臺當機。聯電無人員疏散，彩晶無人員疏散，臺積 18A 廠無人員疏散，群創 F 廠無人員疏散、部分機臺當機。整體臺南科學園區無重大事故狀況，將持續監控與通報。